工作原理

 

　　真空泵的基本工作原理是通過機械、物理或化學的方法將氣體從一個封閉空間中排出，從而在該空間內形成低壓（真空）狀態。具體到愛發科真空泵，可以分為以下幾類，每類真空泵的工作原理有所不同：

 

　　1.旋片式真空泵：旋片式真空泵通過旋轉的轉子和帶有彈簧的旋片來捕捉和壓縮氣體。轉子偏心安裝在泵腔內，旋片在離心力和彈簧力的作用下緊貼泵腔壁。當轉子旋轉時，氣體被捕獲到旋片間的空腔中，并隨著轉子的旋轉逐漸被壓縮排出。

 

　　2.羅茨真空泵：羅茨真空泵利用一對相互嚙合的8字形轉子同步反向旋轉來輸送氣體。轉子之間和轉子與泵殼之間保持極小的間隙，氣體被捕捉并搬運到排氣口。由于沒有內部壓縮過程，羅茨真空泵通常作為前級泵使用，與其他類型的真空泵配合使用。

 

　　3.擴散泵：擴散泵利用高速噴射的油蒸氣流捕獲和攜帶氣體分子，將其推向泵的出口。油蒸氣在泵內膨脹形成高速噴射流，當氣體分子與油蒸氣流相遇時，被引導向下運動并最終排出泵外。

 

　　4.渦輪分子泵：渦輪分子泵通過一系列高速旋轉的葉片產生的動量傳遞來捕獲和加速氣體分子。氣體分子通過與葉片碰撞被加速，沿泵軸方向移動，從而達到抽氣效果。渦輪分子泵適用于超高真空環境。

 

　　主要部件

 

　　愛發科真空泵的高效運行依賴于各個關鍵部件的協調工作。以下是一些主要部件及其功能：

 

　　1.泵體：泵體是泵的主要結構部分，包含了所有機械部件和密封系統。它需要具備高強度和耐腐蝕性，以承受工作環境中的各種壓力和化學侵蝕。

 

　　2.轉子和定子：在旋片式和羅茨真空泵中，轉子和定子是核心部件。轉子的旋轉運動帶動氣體流動，而定子則提供固定的腔體以限制氣體路徑。

 

　　3.旋片：在旋片式真空泵中，旋片是實現氣體捕捉和壓縮的關鍵部件。旋片由高耐磨材料制成，能夠在轉子旋轉時保持與泵腔的緊密接觸。

 

　　4.密封系統：包括機械密封和油封，密封系統保證了真空泵的氣密性，防止外界空氣進入泵腔并避免泵內氣體泄漏。

 

　　5.軸承和潤滑系統：軸承支持轉子的旋轉，潤滑系統確保軸承和其他運動部件的潤滑，減少摩擦和磨損，延長泵的使用壽命。

 

　　6.冷卻系統：在擴散泵和渦輪分子泵中，冷卻系統用于控制泵內部溫度，防止過熱。冷卻方式可以是水冷或風冷。

 

　　7.排氣閥和入口閥：這些閥門控制氣體的進出，確保氣體按照設定路徑流動，并防止逆流。

 

　　8.控制系統：現代真空泵通常配備電子控制系統，用于監控泵的運行狀態、調節工作參數和進行故障診斷，提高操作的自動化水平。

 

　　應用與優勢

 

　　真空泵廣泛應用于各個領域，尤其在半導體制造中扮演重要角色。其主要優勢包括：

 

　　-高效能：能夠在短時間內達到所需真空度，提高生產效率。

 

　　-穩定性：設計精密，運行穩定，適應長時間連續工作。

 

　　-多樣性：涵蓋多種類型的真空泵，滿足不同應用需求。

 

　　-創新性：不斷研發新技術和改進現有產品，保持行業地位。