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  首頁 >>> 產品展示 >>> 愛發科 >>> 愛發科真空計 >>> ST2-1/ST2-2愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2
產品名稱: 愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2
產品時間: 2019-02-11
產品型號: ST2-1/ST2-2
產品特點: 真空環境下測定,對真空計的精度(感度平衡,誤差等)和較短的壽命(測定子污垢,放電難等)有困惑嗎?ULVAC針對該愿望,開發了在嚴酷環境下長久,高精度測定的電離真空計。愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2

愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2 的詳細介紹

 

真空計G-TRAN系列 多離子規ST2-1/ST2-2

 

 

高真空環境下測定,對真空計的精度(感度平衡,誤差等)和較短的壽命(測定子污垢,放電難等)有困惑嗎?ULVAC針對該愿望,開發了在嚴酷環境下長久,高精度測定的電離真空計。世界上三極管型金屬電離真空計,對運轉費大幅削減,過程布留率提高都有效果。

特點

愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2

  • 世界上三極管型金屬電離真空計
    可以實現在惡劣環境下將 三極管的優點大化,并實現長壽命的真空計
  • 測定精度的提高
    實現測定精度±10%,感度穩定性提升
  • 測定子的小型化?金屬制
    不必擔心玻璃破損
  • 廣域測定
    可以測定從大氣壓到高真空的領域(10+5Pa~10-5Pa)(SPU?SAU在同時使用的情況下)
  • 可以連接不同范圍的測定子
    可以根據多離子規的用途來選擇測定子
  • 準確的大氣壓測定
    可以容易且準確的確認大氣壓(在使用SAU的情況下)
  • 低環境負荷對應
    在運行成本的減少下,可以替換必要的測定子
  • 燈絲使用壽命的通知功能
    通過電源監控,可以提前通知的燈絲壽命
  • 辨認性的提升
    搭載一眼可以確認清楚真空計狀態的LED
  • 保養
    容易更換測定子
  • 合適規格
    CE標準對應

用途

愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2?

  • 有機EL、觸摸屏等的制造裝置到達壓力確認以及過程管理用真空爐等各種產業用真空裝置的到達壓力確認
  • 碳化氫(油基)多的環境下測定
  • 真空部品加工時的切削油及洗凈液殘留的環境下測定
  • 為了降低真空計測定子的更換頻度真空裝置中用

※腐蝕性氣體(鹵素氣體)環境下使用的場合請商談。

規格

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江日本進口愛發科真空泵、愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2

常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門日本進口愛發科真空泵、愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2?

海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州日本進口愛發科真空泵、愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2?

臺州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門泉州日本進口愛發科真空泵、愛發科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2?

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型號ST2-1ST2-2
機種名標準型通訊型
可以連接的傳感器多離子規傳感器 : 1套
皮拉尼真空計SPU : 1套(可選)
壓力傳感器單元SAU : 1套(可選)
測定壓力范圍1×10-5 ~ 1×10+1Pa
測定精度1×10-4 ~ 3Pa : ±10%
反復精度1×10-4 ~ 3Pa : ±2%
取樣時間50ms 5回的移動平均處理
測定值輸出輸出電壓 DC 0 ~ 10V LOG輸出 0.75V/1數字
壓力換算公式 V=7.25+0.75*(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
*兼有設定值調整用的輸出電壓(僅限ST2)
更新時間50msec
控制輸入信號FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
開路集電極輸入,負邏輯
控制輸出信號傳感器錯誤,設定值1/2/3、排放驅動器、
燈絲電力監視
額定:24VMAX、50mAMAX、飽和電壓1V
串行通信規格RS232C/RS-485
LED顯示POWER/ERROR: 電源、錯誤LED
FIL: B-A規 燈絲等狀態顯示
SET1: 設定值1LED
SET2: 設定值2LED
SET3: 設定值3LED
排放電流2mA(1×10-3Pa以下)、10μA
DEGAS電子轟擊方式、排放電流2mA、并網電壓約330V
傳感器耐壓2×10+5Pa(壓力)
* 法蘭或夾子等的耐壓力需要另外考慮
傳感器內容積SWT-16 : 17cm3
使用溫度范圍10?50ºC
使用濕度范圍15?80%(無結露)
保管溫度-20?65ºC(當斷電時,無結露)
IP保護等級IP30
電源電壓DC20?28V (紋波、噪聲低于1%)
定常時約8W、DEGAS時19W以下、接通電源時6A以下(4ms)
輸入輸出連接器D-sub15針(M2.6螺)
本體質量控制器約530g 測定子(SWT-16): 80g
外形尺寸 W×D×H約183.8×約75×約62.2mm
適合規格CE

多離子規傳感器SWT-16(NW16)
材質:燈絲 : Ir/Y2O3コート
PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni電鍍
皮拉尼真空計SPU
皮拉尼規傳感器WP-16(NW16)
材質 : 燈絲Pt、其他Bs/Ni電鍍、Ni、焊接
壓力傳感器(NW16) 材質SUS316L
單元電纜ST2 ~ SPU、ST2 ~ SAU顯示單元間的線纜 0.5m
連接器1CH: ISG1(DC24V電源使用)
4CH: IM1R1(DC24V電源使用)/IM2R1(AC100V電源使用)
顯示單元電纜ST2 顯示單元件的電纜
2m、5m、10m、15m、20m
連接器輸入輸出連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺)
其他檢查報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書

 

■ 各模式規格:SH2-1/SH2-2可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規單體模式,皮拉尼真空計與組合模式,皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法

模式SH2-1/SH2-2
單體模式
SH2-1/SH2-2+SPU
組合模式
SH2-1/SH2-2+SPU+SAU
組合模式
測定壓力范圍5×10-8?1×10+1Pa5×10-8?1×10+4Pa5×10-8?1×10+5Pa
測定精度5×10-8?1×10+1Pa:
±15%
5×10-8?1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3?3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3?1.0×10+4Pa:
不保證精度
5×10-8?1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3?3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3?1.0×10+4Pa:
不保證精度
1.0×10+4?1.0×10+5Pa: ±3%F.S.
(3×10+3Pa?
基準溫度25ºC)
反復精度1×10-6?1×10-1Pa: ±2%
連接圖 (例)

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